Chuang'an trägt zur Gewährleistung der Produktionssicherheit in der Halbleiterindustrie bei.

Die Halbleiterindustrie verwendet bei ihren Herstellungsprozessen Hunderte von Elektronikgasen, die oft Eigenschaften wie Entflammbarkeit, Explosivität, Toxizität, Korrosivität und Erstickungsgefahr aufweisen. Wie lässt sich die Gassicherheit gewährleisten?
Angesichts der rasanten Entwicklung von Branchen wie KI und humanoiden Robotern verfügt die Halbleiterindustrie über ein enormes Wachstumspotenzial. Es wird erwartet, dass ihr Marktvolumen bis 2030 die Marke von 1 Billion US-Dollar überschreiten wird.
Die Halbleiterindustrie ist eine strategische Säulenindustrie, die auf Halbleitermaterialien wie Silizium, Germanium und Galliumnitrid basiert und gleichzeitig eine typische technologie- und kapitalintensive Branche darstellt. Ihr Herstellungsprozess ist komplex und umfasst Tausende von Prozessschritten, darunter die Herstellung von Siliziumwafern, Chipdesign, Maskenfertigung, Chipfertigung, Verpackungstests usw. Die nachgelagerten Anwendungsbereiche umfassen integrierte Schaltungen, Display-Panels, Medizintechnik, Unterhaltungselektronik, Beleuchtung, Kommunikation, Photovoltaik und Elektrofahrzeuge.
Durch die kontinuierliche Weiterentwicklung der Halbleiterwafer-Prozesse verringert sich die Linienbreite, und gleichzeitig steigen die Anforderungen an die Produktionsprozesse. Dies führt zu höheren Anforderungen an den reibungslosen und fehlerfreien Betrieb der verschiedenen Systeme in Halbleiterwafer-Fabriken sowie an die Qualität der für den Produktionsprozess verwendeten Rohstoffe.
Im Halbleiterherstellungsprozess ist elektronisches Gas nach Siliziumwafern das zweitwichtigste Fertigungsmaterial und wird aufgrund seiner über hundert verschiedenen Kategorien auch als das „Blut der Chips“ bezeichnet.
Elektronische Gase lassen sich in zwei Kategorien einteilen: elektronische Basisgase und elektronische Spezialgase. Elektronische Basisgase sind Umgebungs-, Schutz- und Trägergase, die im Produktions- und Herstellungsprozess eingesetzt werden, während elektronische Spezialgase hauptsächlich in Chipherstellungsprozessen wie Fotolithografie, Ätzen, Filmbildung, Reinigung, Dotierung und Abscheidung verwendet werden.
Gleichzeitig können im Halbleiterproduktions- und -herstellungsprozess auch saure, alkalische, organische und allgemeine Abgase sowie andere Gase entstehen.
Elektronische Gase und Abgase sind zumeist brennbar, explosiv, giftig, gesundheitsschädlich, korrosiv und erstickend. Halbleiterfertigungsanlagen hingegen sind meist staubfreie, geschlossene Räume mit Abluftsystemen. Schon kleinste Gaslecks können Explosionen, Erstickungsanfälle oder Vergiftungen verursachen. Daher darf die Gassicherheit nicht vernachlässigt werden, und regelmäßige Gasmessungen sind unerlässlich.
Weltweit haben zahlreiche Länder vorgeschrieben, dass in folgenden Bereichen oder an folgenden Orten, an denen besondere Gase gelagert, transportiert und verwendet werden, spezielle Gaswarngeräte installiert werden müssen:
① An den Abgasrohröffnungen von Gasflaschenschränken und Ventilkästen für selbstentzündliche, entzündliche, hochgiftige, giftige und korrosive Gase;
② An den Auslassöffnungen von Ventilkästen für Selbstentzündung, Entflammbarkeit, Toxizität und korrosive Gase in Produktionsanlagen sowie an den Auslassöffnungen von Prozessanlagen;
③ Am Abgasauslass der speziellen Abgasreinigungsanlage für Produktionsanlagen;
④ Bereiche, in denen es zwischen inerten Gasen zu Erstickungsgefahr kommen kann;
⑤ Technikräume, die selbstentzündliche, entzündliche, hochgiftige, giftige und korrosive Gase enthalten;
⑥ Andere Umgebungen, in denen Selbstentzündung, Entflammbarkeit, Toxizität und korrosive Gase austreten können.
Darüber hinaus enthält die Norm auch entsprechende Vorschriften zu Alarmeinstellungen, Reaktionszeit, Installationsort usw.

Das CA228 wurde speziell zur Erkennung von Leckagen brennbarer, giftiger und schädlicher Gase in Halbleiterfabriken entwickelt. Es zeichnet sich durch hohe Empfindlichkeit, hohe Zuverlässigkeit und Nachweisbarkeit niedriger Konzentrationen aus und kann Hunderte von Gasen wie Ammoniak, Arsin, Chlor und Silan detektieren. Es eignet sich für Branchen wie die Halbleiter-, LCD-, Photovoltaik- und Batterieherstellung.
Dieses Produkt wurde bereits erfolgreich in mehreren Halbleiterfabriken eingesetzt und hat von den Anwendern einhellige Anerkennung erhalten.
In der Zeit nach Moore hat sich die Komplexität der Produktionsprozesse in der Halbleiterindustrie stetig erhöht, und die Produktions- und Herstellungskosten steigen kontinuierlich. Die Kosten für Spezialgase in der Elektronikindustrie machen bis zu 13 % aus, und einige hochwertige Importgase sind mit Preisen von mehreren zehntausend Yuan pro Kilogramm sehr teuer. Gaslecks verursachen nicht nur Sachschäden, sondern können auch Arbeitsunfälle zur Folge haben. Die Firma Chuang'an verfügt über umfassende technische Expertise und langjährige Erfahrung im Bereich der Sicherheitsüberwachung von toxischen, schädlichen, brennbaren und explosiven Gasen. Mit Unterstützung von GaswarngerätIn Halbleiterfabriken wird es Halbleiterunternehmen dabei unterstützen, sicher zu produzieren, Kosten zu senken und die Effizienz zu steigern.