创安助力半导体行业生产安全

半导体行业的制造过程中会用到数百种电子气体，这些气体通常具有易燃、易爆、有毒、腐蚀性和窒息性等特性。如何确保气体安全？
随着人工智能和人形机器人等行业的爆炸式发展，半导体行业具有巨大的增长潜力，预计到 2030 年，其市场规模将超过 1 万亿美元。
半导体产业是以硅、锗、氮化镓等半导体材料为基础的战略支柱产业，也是典型的技术密集型和资本密集型产业。其制造工艺复杂，涵盖硅片制造、芯片设计、掩模制作、芯片制造、封装测试等数千道工序。下游应用领域广泛，包括集成电路、显示面板、医疗健康、消费电子、照明、通信、光伏、新能源汽车等。
由于半导体晶圆工艺的不断发展，线宽越来越窄，对生产工艺的要求也越来越高。这些因素对半导体晶圆厂各系统的连续无故障运行以及生产过程中所用原材料的质量提出了更高的要求。
在半导体制造过程中，电子气体是仅次于硅晶片的第二大制造材料，有超过一百种类别，被称为“芯片的血液”。
电子气体分为两大类：电子常用气体和电子特种气体。电子常用气体是生产制造过程中使用的环境气体、保护气体和载体气体，而电子特种气体主要用于芯片制造工艺，例如光刻、蚀刻、成膜、清洗、掺杂和沉积。
同时，在半导体生产制造过程中，也会产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般废气等气体。
电子工业气体和废气大多是易燃、易爆、有毒、有害、腐蚀性和窒息性气体，而半导体制造车间大多是无尘封闭环境，并配备回风系统。一旦发生危险气体泄漏，即使是极小的泄漏量也可能引发爆炸、人员窒息或中毒事故。因此，气体安全问题不容忽视，必须进行气体检测。
世界各国已强制规定，在储存、运输和使用特殊气体的以下区域或​​场所必须安装特殊气体检测装置：
① 在易燃、高毒性、有毒和腐蚀性气体的气瓶柜和阀箱的排气管开口处；
② 生产工艺设备中用于排放自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体的阀箱排气口，以及工艺设备的排气口；
③ 在生产工艺设备专用气体废气处理装置的排气口处；
④ 惰性气体之间可能发生窒息的区域；
⑤ 含有自燃性、易燃性、剧毒性、有毒性和腐蚀性气体的设备间；
⑥ 其他可能泄漏自燃、易燃、有毒、腐蚀性气体的环境。
此外，该标准还对报警设置、响应时间、安装位置等作出了相关规定。

CA228是一款专为半导体工厂检测易燃、有毒和有害气体泄漏而设计的产品。它具有高灵敏度、高可靠性和低浓度检测能力，可检测数百种气体，例如氨气、砷化氢、氯气和硅烷。适用于半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。
该产品已成功应用于多家半导体制造工厂，并获得用户的一致好评。
后摩尔时代，半导体行业的生产工艺难度不断增加，生产制造成本持续攀升。电子特种气体的成本占比高达13%，一些高端进口气体价格更是极其昂贵，每公斤价格可达数万元。气体泄漏不仅造成财产损失，还可能引发工伤事故。创安公司在有毒、有害、易燃、易爆气体安全监测领域拥有深厚的技术积累和服务经验。 气体探测器在半导体工厂中，它将有助于半导体企业安全生产、降低成本、提高效率。